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    半导体气体过滤器氦检

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    半导体气体过滤器氦检

    半导体的气体过滤器,也称为半导体气体过滤器或半导体AMC(Airborne Molecular Contamination,空气分子污染)过滤器,是一种专门应用于半导体制造行业的过滤器。它主要用于去除对半导体工厂产生负面影响的各种化学污染物,如有机物、碱、酸性气体等。

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    半导体气体过滤器的工作原理主要基于物理和化学吸附和分解过程,通过使用多种吸附剂和催化剂,选择性地去除有害气体。在产品类型上,半导体AMC过滤器可以分为化学吸附过滤器(如活性炭或氧化铝)和粘合介质面板(如活性炭形成单片面板)等。

    半导体气体过滤器广泛应用于半导体制造、光电子、平板显示等领域,为这些行业提供高质量的气体过滤解决方案。它的主要组成部分包括过滤器壳体和滤芯,主流外壳材料包括316L不锈钢、镍、PTFE材料、哈氏合金等,而过滤介质则一般为聚丙烯、玻璃纤维、聚醚砜、PTFE、聚偏氟乙烯、尼龙、UPE等。

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    关键词: 半导体,氦质谱检漏,气体过滤器

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